| 起源の場所: | 中国 |
|---|---|
| ブランド名: | UNIMETRO/CHOTEST |
| 証明: | CE |
| モデル番号: | SJ6000 |
| 最小注文数量: | 1set |
| 価格: | Discussible |
| パッケージの詳細: | 紙箱 |
| 支払条件: | T/T |
| 供給の能力: | 100かのセット月 |
| 製品名: | SJ6000レーザーの干渉計の測定システム | 線形測定範囲: | 0~80m |
|---|---|---|---|
| 解決: | 1nm | レーザーの頻度正確さ: | 0.05ppm |
| 動作温度:: | （0-40の） ℃ | 動的捕獲率:: | 50KHz |
| ハイライト: | 0.05ppmレーザーの干渉計の測定システム,1nmレーザーの干渉計の測定システム,1nm変位の測定の干渉計 |
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レーザー干渉測定は,高精度で高感度で,高級製造で広く使用されている基準として光波長を使用する測定方法として認識されています.SJ6000レーザーインターフェロメーターシステムには,アメリカのサプライヤーの高周波ヘリウム-ネオンレーザー発電機が組み込まれています高精度な環境補償モジュール 高度なレーザー干渉信号処理 高性能なコンピュータ制御システム
レーザー双長度モードと幾何学的パラメータの 干渉光路設計を用いて SJ6000は長期的に安定した高精度 (0.05ppm) レーザー出力 約6分で,強力な反干渉性能.様々なプリズムモジュールで,線形性,角度,直直性,平坦性,垂直性,そして動的特性を分析します.
| システムパラメータ | 環境センサー |
|---|---|
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測定方法:単周波数 レーザー周波数精度:0.05ppm ダイナミック捕獲速度:50kHz 温める時間:~6分 動作温度:0〜40°C 環境0~40°C,湿度0~95% 保存温度:-20°Cから70°C |
大気温:±0.1°C (0-40°C),0.01°Cの解像度 材料の温度:±0.1°C (0-40°C),0.01°Cの解像度 大気の湿度:±5% (0~95%) 大気圧:±0.1kPa (65〜115kPa) |
| 線形測定 | 角度測定 |
|---|---|
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測定範囲:0~80m 測定精度:0.5ppm (0-40°C) 決議:1nm 最大速度:4m/s |
軸域:0〜15m 測定範囲:±10° 精度:± ((0.02%R+0.1+0.24M) " 決議:0.1′′ R = 表示値 (′′),M = 測定した長さ (m)
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| 平面度測定 | |
|---|---|
| 軸域:0〜15m | 測定範囲:±1.5mm |
| 精度:± 0.2%R+0.02M2) μm | 決議:0.1μm |
| 基板の大きさ:180mm 調節可能 360mm 調節可能 | |
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R = 表示値 (μm),M = 測定した長さ (m)
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| ストレート度測定 | 短く直ぐ | 長い直さ |
|---|---|---|
| 軸の範囲 | 0.1-4m | 1~20m |
| 測定範囲 | ±3.0mm | ±3.0mm |
| 精度 | ± ((0.5+0.25%R+0.15M2) μm | ± ((5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| 決議 | 0.01μm | 0.01μm |
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R = 表示値 (μm),M = 測定した長さ (m)
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| 垂直性測定 | 短く直ぐ | 長い直さ |
|---|---|---|
| 軸の範囲 | 0.1-3m | 1〜15m |
| 測定範囲 | ±3.0mm | ±3.0mm |
| 精度 | ±2.5+0.25%R+0.8M) μm/m | ± ((2.5+2.5%R+0.08M) μm/m |
| 決議 | 0.01μm | 0.01μm |
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R = 表示値 (μm),M = 測定した長さ (m)
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