| 起源の場所: | 中国 |
|---|---|
| ブランド名: | UNIMETRO/CHOTEST |
| 証明: | CE |
| モデル番号: | SJ6000 |
| 最小注文数量: | 1SET |
| 価格: | Discussible |
| パッケージの詳細: | 紙箱 |
| 支払条件: | T/T |
| 供給の能力: | 100かのセット月 |
| 製品名: | SJ6000レーザーの干渉計の測定システム | 線形測定範囲: | 0~80m |
|---|---|---|---|
| 解決: | 1nm | レーザーの頻度正確さ: | 0.05ppm |
| 動作温度:: | （0-40の） ℃ | 動的捕獲率:: | 50KHz |
| ハイライト: | 単調レーザーの干渉計,0.05ppm測定器,1nm決断の測定器 |
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レーザー干渉計は,高精度,高感度測定方法として認識されており,高級製造分野では光波長を基準として広く使用されています.SJ6000レーザーインターフェロメーターシステムには,アメリカのサプライヤーの高周波ヘリウム-ネオンレーザー発電機が組み込まれています高精度な環境補償モジュール 高度なレーザー干渉信号処理 高性能なコンピュータ制御システム
レーザーの二次長度モードと幾何学的パラメータの干渉光路設計の熱周波数安定化技術を利用して,SJ6000は長期にわたって安定した高精度 (0.05ppm) レーザー出力が迅速 (約6分) で,強力な反干渉性能を備えています.異なるプリズマモジュールで,線形性,角度,直直性,平面性,垂直性ダイナミック・特徴を分析する.
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| 測定方法 | 単周波数 |
| レーザー周波数精度 | 0.05ppm |
| ダイナミック捕獲率 | 50kHz |
| 温める時間 | 約6分 |
| 動作温度 | (0−40) °C |
| 環境条件 | 温度: (0~40)°C 湿度: 0~95% |
| 保存温度 | -20°Cから70°C |
| センサータイプ | 仕様 |
|---|---|
| 大気温センサー | ±0.1°C (0−40)°C,解像度:0.01°C |
| 材料温度センサー | ±0.1°C (0−40)°C,解像度:0.01°C |
| 大気湿度センサー | ±5% (0~95%) |
| 大気圧センサー | ±0.1kPa (65〜115) kPa |
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| 測定範囲 | (0〜80)m |
| 測定精度 | 00.5ppm (0−40)°C |
| 測定解像度 | 1nm |
| 最大測定速度 | 4m/s |
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| 軸域 | (0-15) m |
| 測定範囲 | ±10° |
| 精度 | ±(0.02%R+0.1+0.24M) ′′ (R は値を示し,単位: ′′; M は長さを m で測定する) |
| 測定解像度 | 0.1′′ |
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| 軸域 | (0-15) m |
| 平面度測定範囲 | ±1.5mm |
| 精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R は μm で表示される値で,M は m で測定された長さ) |
| 基板の大きさ | 180mm 調節可能 360mm 調節可能 |
| 測定解像度 | 0.1μm |
| タイプ | 軸の範囲 | 測定範囲 | 精度 | 決議 |
|---|---|---|---|---|
| 短直さ | (0.1-4) m | ±3.0mm | ± ((0.5+0.25%R+0.15M2) μm | 0.01μm |
| 長直さ | (1-20m) | ±3.0mm | ± ((5.0+2.5%R+0.015M2) μm | 0.01μm |
| タイプ | 軸の範囲 | 測定範囲 | 精度 | 決議 |
|---|---|---|---|---|
| 短直さ | (0.1-3) m | ±3.0mm | ±2.5+0.25%R+0.8M) μm/m | 0.01μm |
| 長直さ | (1〜15)m | ±3.0mm | ± ((2.5+2.5%R+0.08M) μm/m | 0.01μm |
