| ワークステージ 設置寸法(mm): | 160 x 160 | 高さ調整範囲(mm): | 0-100 |
|---|---|---|---|
| 横行: | 25mm | Y軸周りが傾いている: | ±3° |
| 作業ステージ回転: | ±4° | 作業ステージのロード: | 10KG |
| ハイライト: | デジタル投影,投影検査器機械 |
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| モデル | 外形寸法絶対測定 | 内径寸法測定 |
|---|---|---|
| UNIDL-25-D | (0.5+L/200) μm | (1+L/100) μm |
| UNIDL-25-C | 0.5 μm | 1 μm |
| UNIDL-25-H | 0.4 μm | 0.8 μm |