| センサー: | 誘導粗さプロファイルセンサー | ソフトウェア: | CMS形状測定装置&RMW表面粗さ測定解析装置 |
|---|---|---|---|
| 申請者: | ブレーキオイル缶、ブレーキオイル缶A、スプリング、車締結ボルトなど | ||
| ハイライト: | 輪郭の計器,荒さの計器 |
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| 仕様 | SER1143G-sak |
|---|---|
| 測定範囲 | |
| X軸 | 100mm |
| Z軸 | 320mm |
| Z1軸 | C:±5mm R:±400μm |
| 輪郭精度 | |
| Z1線形精度¹ | 0.15% f.s. |
| Pt | ±0.3μm |
| 角度 | ±2° |
| 直角度 | 0.5μm/100mm |
| 粗さ精度 | |
| 線形精度 | ±7% |
| 残留ノイズ | ≤0.025μm |
| 繰り返し精度 | 1δ≤3nm |
| カットオフ波長 | 0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8mm |
| 評価長さ | λc X2,3,4,5,6,7 |
| 駆動速度 | |
| X軸 | 0.1~10mm/s |
| Z軸 | 0.5~10mm/s |
| 測定機能 | |
| プロファイル | 線要素、点フィーチャー、距離、平行度、直角度、角度、溝深さ、溝幅、半径、直角度解析、凸度解析、プロファイル解析 |
| 粗さ | Ra, Rp, Rv, Rz(jis), R3z, RzDIN, Rzj, Rmaz, Rc, Rt, Rq, Rsk, Rku, Rsm, Rs, RΔq, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Rmr |
| うねり | Wa, Wt, Wp, Wv, Wz, Wq, Wsm, Wsk, Wku, Wmr |
| オリジナル輪郭 | Pa, Pt, Pp, Pv, Pz, Pq, Psm, Psk, Pku, Pmr |