| センサー: | 誘導型プロファイルセンサー | ソフトウェア: | CMS輪郭測定ソフト |
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| 申請者: | ツール、エンジン濾過システム、ブッシュ、射出成形金型 | ||
| ハイライト: | 輪郭の計器,荒さの計器 |
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| 仕様 | 詳細 |
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| 測定範囲 - X軸 | 120mm |
| 測定範囲 - Z軸 | 420mm |
| 測定範囲 - Z1軸 | ±0.5mm~±7.5mm/262144:1 |
| Z1線形精度 | 0.07% f.s. |
| 角度精度 | ±1° |
| 直角度 | 0.3μm/100mm |
| X軸駆動速度 | 0.05~20mm/s |
| Z軸駆動速度 | 0.2~20mm/s |