| センサー: | デジタル式輪郭センサー&標準ノーヘッド粗さセンサー | ソフトウェア: | CMS輪郭測定装置&RMW表面粗さ測定解析装置 |
|---|---|---|---|
| 申請者: | 多関節アームベアリング、光学グレードのゲルマニウム結晶、シールリング、ターボシールなど | 輪郭精度: | ±2' |
| 粗さ: | Rsk、Rku、Rsm、Rsm、Rs、RΔq、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr | 定格長さ: | λcX2,3,4,5,6,7 |
| x軸: | 0.1~10mm/s | z軸: | 0.5~10mm/秒 |
| ハイライト: | 10mm/s輪郭の計器,Rskの荒さの輪郭の計器,Rkuの荒さの計器 |
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| 仕様 | PR1103G-sdk |
|---|---|
| X軸測定範囲 | 100mm |
| Z軸測定範囲 | 320mm |
| Z1軸測定範囲 | C:±12.5mm/R:±420μm |
| 輪郭精度 Z1 線形精度 | ±(1.5+|0.2H|)μm |
| 円弧精度 | ±(2+R/8)μm |
| 角度精度 | ±2″ |
| 直線性 | 0.8μm/100mm |
| 粗さ精度 線形精度 | ±4% |
| 残留ノイズ | ≦0.02μm |
| 再現値 | 1δ≦2nm |
| カットオフ波長 | 0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8mm |
| 評価長 | μm×2,3,4,5,6,7 |
| X軸駆動速度 | 0.1~10mm/s |
| Z軸駆動速度 | 0.5~10mm/s |